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華為mate60 pro 發(fā)布了,9000s 芯片神秘量產(chǎn),“卡脖子技術(shù)”之光刻膠,到底卡在哪里?之一

2023/9/7 17:43:08??????點(diǎn)擊:

光刻膠究竟是怎樣一個(gè)行業(yè)?


光刻膠,又稱“光致抗蝕劑”,是光刻成像的承載介質(zhì),可利用光化學(xué)反應(yīng)將光刻系統(tǒng)中經(jīng)過衍射、濾波后的光信息轉(zhuǎn)化為化學(xué)能量,從而把微細(xì)圖形從掩模版轉(zhuǎn)移到待加工基片上。其被廣泛應(yīng)用于光電信息產(chǎn)業(yè)的微細(xì)圖形線路的加工制作,是微細(xì)加工技術(shù)的關(guān)鍵性材料。

一言以蔽之,光刻膠是光刻工藝最重要的耗材,其性能決定了加工成品的精密程度和良品率,而光刻工藝又是精密電子元器件制造的關(guān)鍵流程,這使得光刻膠在整個(gè)電子元器件加工產(chǎn)業(yè),都有著至關(guān)重要的地位。


需要強(qiáng)調(diào),盡管近年來光刻膠與芯片一起反復(fù)為媒體所提及,但它從來不是只用于半導(dǎo)體生產(chǎn),甚至在三個(gè)主流應(yīng)用領(lǐng)域(半導(dǎo)體、PCB、LCD)里,半導(dǎo)體光刻膠的市場規(guī)模也最小。受篇幅所限,本文將聚焦于受關(guān)注度最高,也是典型的“卡脖子”領(lǐng)域——半導(dǎo)體光刻膠,其它用途將僅作粗略介紹,不詳細(xì)展開。
從整體產(chǎn)業(yè)鏈看,光刻膠上游為各類專用化學(xué)制品,屬于精細(xì)化工行業(yè);下游則為各類電子元器件制造行業(yè)。

從生產(chǎn)原材料看,光刻膠的上游為各類專用化學(xué)品,屬于精細(xì)化工產(chǎn)業(yè),包括光引發(fā)劑(光增感劑、光致產(chǎn)酸劑)、溶劑、成膜樹脂及添加劑(助劑、單體等)。

從用量上來說,溶劑(主要為丙二醇甲醚醋酸酯,簡稱PMA)是用量最大的材料,含量最高可達(dá)90%,但在成本上并不突出,且不起關(guān)鍵作用;作為光化學(xué)反應(yīng)的核心部分,光引發(fā)劑的用量僅有約1%~6%;樹脂則在不同光刻膠產(chǎn)品中的用量區(qū)別很大。

從成本看,在半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域,越先進(jìn)的工藝,樹脂成本占比越高:以 KrF(氟化氪)光刻膠為例,樹脂成本占比高達(dá)約75%,感光劑約為23%,溶劑約為2%。

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